halbleiter Solar Doppelmembranpumpen

Solar- und Halbleiter-Ausführung

Die Dellmeco Pumpen der Serie SEMI DMS wurden speziell für die Halbleiter Industrie entwickelt. Die einzelne Montage der DMS-Pumpen erfolgt in einem REINRAUM KLASSE 100, hier werden alle Teile doppelt gereinigt und mit einem demineralisierten Wasser getestet. Nach Fertigstellung werden diese doppelt in Folie versiegelt.

Alle Medienberührenden Teile der Serie SEMI T und SEMI H sind aus den Materialien PTFE und TFM gefertigt. Alle Medienberührenden Gehäuseteile der Serie SEMI E sind aus dem Material UPPE (Ultra Pure Polyethylen) gefertigt. Es müssen alle Teile auf Ihre Beständigkeit zum Medium geprüft werden.

Vorteile auf einen Blick

  • Keine Metallischen Bauteile bei SEMI T, H und E
  • Keine Elastomere O-Ringe
  • Schmierungsfreier Luftmotor
  • Montage, Reinigung und Pumpen-Test im Reinraum Klasse 100 und doppelt luftdicht verpackt
  • Langlebige TFM-Membranen
  • Vier Materialen für die verschiedensten Anwendungen bis max. 200°C
  • Aus Voll-Material, CNC-gefertigte Teile
  • Viel Zubehör wie z.B. Pulsationsdämpfer, Leckage-Überwachung…
  • 40% weniger Teile im Vergleich zu Wettbewerbsprodukten

 


Sondervarianten

Unsere Doppelmembranpumpen gibt es in verschiedenen Zusatzoptionen und Ausführungen.
Gerne sind wir Ihnen bei der Auswahl behilflich und beraten Sie individuell und anwendungsbezogen:

 

Unsere leitfähigen Versionen sind für alle ATEX-Zone erhältlich – selbst Zone 0 ist realisierbar. Die technischen Eigenschaften verliert die Pumpe dabei nicht und kann somit uneingeschränkt in Produktionen eingesetzt werden, bei denen erhöhte Brand- und Explosionsgefahr herrscht. Unser Team berät Sie, je nach Einsatzgebiet und Anforderung, gerne bei der Auswahl der richtigen Doppelmembranpumpe.

Zubehör

Für diese Produktserie bieten wir folgendes Zubehör optional an:

 

Beim Betrieb von druckluftbetriebenen Doppelmembranpumpen (Verdrängerpumpen) entsteht durch die oszillierende Bewegung der Membranen ein pulsierender Förderstrom. Um einen nahezu gleichförmigen Förderstrom zu erreichen, ist der Einsatz eines geeigneten aktiven Pulsationsdämpfers zwingend erforderlich.

Die Dellmeco F-Serie ist eine Speziell entwickelte Pumpe mit integriertem Pulsationsdämpfer und zwei separaten Produktkammern. Die erste Produktkammer wird zum Fördern einer Flüssigkeit aus einem Vorratsbehälter zur Anlage verwendet. Diese Kammer arbeitet unter Einsatz eines direkt aufgebauten und aktiv angesteuerten Pulsationsdämpfers. Der Produktstrom wird somit gleichmäßiger fördert. Für einen perfekten Einsatz des Pulsationsdämpfers muss mindestens ein Luftdruck von 1 bar anstehen.

Die zweite Kammer wird zur Rückförderung des überschüssigen Produktes (z.B. Farbe, Leim, Klebstoff…) aus der Anlage in den Vorratsbehälter verwendet. Eine weitere Verwendung der zweiten Kammer könnte das Zirkulieren des Produktes im Vorratsbehälter sein. Hierdurch kann das schnelle Sedimentieren eines Produktes verhindert werden.

Beim Einsatz der Dellmeco Pumpen mit Kunststoffgehäuse wird der Pulsationsdämpfer ohne die Verwendung weiterer Bauteile unmittelbar auf den Materialauslass geschraubt. Bei der Verwendung von Pumpen mit metallischem Gehäuse wird der Pulsationsdämpfer der Pumpe nachgeschaltet. Jeder Pulsationsdämpfer verfügt über einen separaten Druckluftanschluss. Pumpe und Pulsationsdämpfer sind gemeinsam an die Druckluftleitung anzuschließen, damit beide Einheiten mit dem gleichen Luftdruck versorgt werden. Sobald die Pumpe mit Luftdruck versorgt wird und zu fördern beginnt, beginnt auch der Pulsationsdämpfer die Pulsation zu reduzieren. Die Membrane des Pulsationsdämpfers dient wie bei den Doppelmembranpumpen als Trennmembrane zwischen der Luft- und der Produktseite. Reduziert oder steigt der Luftdruck infolge geänderter Betriebsbedingungen, reduziert bzw. steigt der Druck auf der Förderseite. Dies geschieht sowohl in der Pumpe als auch im Pulsationsdämpfer. Bedingt durch diese automatische Anpassung des Druckes wird eine gleichbleibend gute Dämpfung der Pulsation erreicht.
Durch Verwendung von leitfähigem Polyethylen als Gehäusematerial ist die Verwendung in Ex-Bereichen (EX II 2GD TX) sichergestellt.
Im Schalldämpfer der Pumpe wird ein Feuchtigkeitssensor (kapazitiv) montiert. Dieser Sensor erkennt jede Flüssigkeit, die bei einem Membranbruch zwangsläufig in den Motor der Pumpe gelangt. Das Ausgangssignal des Sensors lässt sich an eine vorhandene speicherprogrammierbare Steuerung oder an ein optional erhältliches Steuergerät weiterleiten.

Meldet der Sensor ein Alarmsignal, lässt sich dieser Alarm an ein ebenfalls optional erhältliches Magnetventil weiterleiten. Das Magnetventil unterbricht die Luftzufuhr. Die Pumpe stoppt.

Hinweis:
Wird die Pumpe ohne vorgeschalteten Wasserabscheider (Filterregler) betrieben, kann feuchte Druckluft zum Auslösen des Sensors (Alarm) führen. Es ist daher zwingend notwendig, vor der Pumpe einen optional erhältlichen Wasserabscheider (Filterregler) zu installieren.
Wird die Membranbruchüberwachung (DM1, DM2) im Ex-Bereich eingesetzt, ist zusätzlich zum Näherungsinitiator ein eigensicherer Trennschaltverstärker vorzusehen.

Die Membranbruchüberwachungen sind in folgenden Ausführungen erhältlich:
DM 1 – Feuchtigkeitssensor, kapazitiv (Namur) mit ca. 3,0m Anschlusskabel
DM 2 – Feuchtigkeitssensor, kapazitiv (Namur), mit Steuerger.