Solar- & Halbleiterindustrie

Welche Rolle spielen Membranpumpen in Hightech-Branchen?

In der Halbleiter- und Solarindustrie werden hochreine Chemikalien benötigt, die absolut
frei von Verunreinigungen bleiben müssen. Dellmeco setzt hier auf PTFE-Pumpen mit
besonders glatten Innenflächen, die keine Rückstände hinterlassen.

Typische Anwendungen:

• Förderung von Flusssäure und Salpetersäure
• Versorgung von Wafer-Produktionslinien
• Dosieren von Slurries in der Politurtechnik

Da viele dieser Chemikalien gefährlich sind, kommen zusätzlich ATEX-konforme
Varianten zum Einsatz.