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Halbleiterindustrie: Serie SEMI DMS

Pumpen für die Halbleiterindustrie: Serie SEMI DMS

In der Serie SEMI DMS sind spezielle von Dellmeco entwickelte Pumpen für die Halbleiterindustrie zusammengefasst. Die einzelne Montage der DMS-Pumpen erfolgt in einem Reinraum der Klasse 100. Dabei werden alle Teile doppelt gereinigt und mit einem demineralisierten Wasser getestet. Nach Fertigstellung werden die einzelnen Komponenten doppelt in Folie versiegelt. Alle medienberührenden Teile der Serie SEMI T und SEMI H sind aus den Materialien PTFE und TFM gefertigt. Alle Gehäuseteile der Serie SEMI E, die mit dem Medium in Kontakt kommen, bestehen aus UPPE (Ultra Pure Polyethylen). Sämtliche Teile müssen hinsichtlich ihrer Beständigkeit zum Medium geprüft werden.

Unsere Pumpen für die Halbleiterindustrie verfügen unter anderem über einen schmierungsfreien Luftmotor sowie besonders langlebige TFM-Membranen. Einzig und allein bei der Reihe SEMI S kommt austenitischer rostfreier Stahl (AISI 316L) als Material zum Einsatz, da hier Lösemittel gefördert werden – alle anderen Varianten dieser Dellmeco-Prozesspumpen sind komplett ohne metallische Bauteile gefertigt. Diese und weitere Vorteile im Überblick:

  • keine metallischen Bauteile bei SEMI T, H und E
  • keine elastomeren O-Ringe
  • schmierungsfreier Luftmotor
  • Montage, Reinigung und Pumpen-Test im Reinraum (Klasse 100), doppelt luftdichte Verpackung
  • langlebige TFM-Membranen
  • vier Materialen für die verschiedensten Anwendungen bis max. 200 °C
  • aus Vollmaterial, CNC-gefertigte Teile
  • diverse Zubehörteile wie z. B. Pulsationsdämpfer, Leckage-Überwachung …
  • 40 % weniger Teile im Vergleich zu Wettbewerbsprodukten
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Sondervarianten

Leitfähig (SEMI)
Unsere leitfähigen Versionen sind für alle ATEX-Zone erhältlich – selbst Zone 0 ist realisierbar. Die technischen Eigenschaften verliert die Pumpe dabei nicht und kann somit uneingeschränkt in Produktionen eingesetzt werden, bei denen erhöhte Brand- und Explosionsgefahr herrscht. Unser Team berät Sie, je nach Einsatzgebiet und Anforderung, gerne bei der Auswahl der richtigen Doppelmembranpumpe.

Zubehör

Pulsations-Dämpfer (SEMI)
Beim Betrieb von druckluftbetriebenen Doppelmembranpumpen (Verdrängerpumpen) entsteht durch die oszillierende Bewegung der Membranen ein pulsierender Förderstrom. Um einen nahezu gleichförmigen Förderstrom zu erreichen, ist der Einsatz eines geeigneten aktiven Pulsationsdämpfers zwingend erforderlich.

Die Dellmeco F-Serie ist eine Speziell entwickelte Pumpe mit integriertem Pulsationsdämpfer und zwei separaten Produktkammern. Die erste Produktkammer wird zum Fördern einer Flüssigkeit aus einem Vorratsbehälter zur Anlage verwendet. Diese Kammer arbeitet unter Einsatz eines direkt aufgebauten und aktiv angesteuerten Pulsationsdämpfers. Der Produktstrom wird somit gleichmäßiger fördert. Für einen perfekten Einsatz des Pulsationsdämpfers muss mindestens ein Luftdruck von 1 bar anstehen.

Die zweite Kammer wird zur Rückförderung des überschüssigen Produktes (z.B. Farbe, Leim, Klebstoff…) aus der Anlage in den Vorratsbehälter verwendet. Eine weitere Verwendung der zweiten Kammer könnte das Zirkulieren des Produktes im Vorratsbehälter sein. Hierdurch kann das schnelle Sedimentieren eines Produktes verhindert werden.

Beim Einsatz der Dellmeco Pumpen mit Kunststoffgehäuse wird der Pulsationsdämpfer ohne die Verwendung weiterer Bauteile unmittelbar auf den Materialauslass geschraubt. Bei der Verwendung von Pumpen mit metallischem Gehäuse wird der Pulsationsdämpfer der Pumpe nachgeschaltet. Jeder Pulsationsdämpfer verfügt über einen separaten Druckluftanschluss. Pumpe und Pulsationsdämpfer sind gemeinsam an die Druckluftleitung anzuschließen, damit beide Einheiten mit dem gleichen Luftdruck versorgt werden. Sobald die Pumpe mit Luftdruck versorgt wird und zu fördern beginnt, beginnt auch der Pulsationsdämpfer die Pulsation zu reduzieren. Die Membrane des Pulsationsdämpfers dient wie bei den Doppelmembranpumpen als Trennmembrane zwischen der Luft- und der Produktseite. Reduziert oder steigt der Luftdruck infolge geänderter Betriebsbedingungen, reduziert bzw. steigt der Druck auf der Förderseite. Dies geschieht sowohl in der Pumpe als auch im Pulsationsdämpfer. Bedingt durch diese automatische Anpassung des Druckes wird eine gleichbleibend gute Dämpfung der Pulsation erreicht. Durch Verwendung von leitfähigem Polyethylen als Gehäusematerial ist die Verwendung in Ex-Bereichen (EX II 2GD TX) sichergestellt.
Membranbruch-Überwachung
Im Schalldämpfer der Pumpe wird ein Feuchtigkeitssensor (kapazitiv) montiert. Dieser Sensor erkennt jede Flüssigkeit, die bei einem Membranbruch zwangsläufig in den Motor der Pumpe gelangt. Das Ausgangssignal des Sensors lässt sich an eine vorhandene speicherprogrammierbare Steuerung oder an ein optional erhältliches Steuergerät weiterleiten.

Meldet der Sensor ein Alarmsignal, lässt sich dieser Alarm an ein ebenfalls optional erhältliches Magnetventil weiterleiten. Das Magnetventil unterbricht die Luftzufuhr. Die Pumpe stoppt.

Hinweis: Wird die Pumpe ohne vorgeschalteten Wasserabscheider (Filterregler) betrieben, kann feuchte Druckluft zum Auslösen des Sensors (Alarm) führen. Es ist daher zwingend notwendig, vor der Pumpe einen optional erhältlichen Wasserabscheider (Filterregler) zu installieren. Wird die Membranbruchüberwachung (DM1, DM2) im Ex-Bereich eingesetzt, ist zusätzlich zum Näherungsinitiator ein eigensicherer Trennschaltverstärker vorzusehen.

Die Membranbruchüberwachungen sind in folgenden Ausführungen erhältlich:
DM 1 – Feuchtigkeitssensor, kapazitiv (Namur) mit ca. 3,0m Anschlusskabel
DM 2 – Feuchtigkeitssensor, kapazitiv (Namur), mit Steuerger

Unsere verschiedenen Pumpen der SEMI-Reihen unterscheiden sich in erster Linie hinsichtlich der verwendeten Materialien sowie der geförderten Medien. Die Baureihen SEMI T und H beispielsweise kommen im Zusammenhang mit Säuren und Beizen zum Einsatz, wobei die Reihe H im Speziellen auf die Förderung von Heißanwendungen ausgelegt ist. Für Slurries bzw. abrasive Materialien empfehlen wir die Baureihe SEMI E. Die Reihe SEMI S ist komplett aus austenitischem rostfreiem Stahl gefertigt und wird daher zur Förderung von Lösemitteln genutzt.

Auf dieser Seite stellen wir Ihnen zudem eine ausführliche Bedienungsanleitung und ein anschauliches Datenblatt für unsere Prozesspumpen für die Solar- und Halbleiterindustrie zur Verfügung. Die Bedienungsanleitung enthält beispielsweise wichtige Informationen zur Einrichtung der Pumpen, eine umfangreiche Liste von technischen Details – unabhängig vom Pumpenmodell – sowie eine Übersicht der verfügbaren Ersatzteile. In dem doppelseitigen Datenblatt können Sie nachlesen, mit welchen Betriebszuständen die Pumpen der Reihe SEMI maximal belastet werden können. Darüber hinaus können Sie in Diagrammen ablesen, wie sich Luftdruck bzw. Luftverbrauch in Abhängigkeit von Förderleistung und Förderhöhe verändern. Wenden Sie sich zudem gerne an unser kompetentes Team, wenn Sie Fragen zu unseren hochwertigen Pumpen für die Halbleiterindustrie haben.

Dellmeco Deutschland ist Ihre erste Adresse für Doppelmembranpumpen und bietet in diesem Bereich sowohl erstklassige elektrische als auch pneumatische Pumpen in diversen Ausführungen an. Abgerundet wird unser Angebot durch umfassende Serviceleistungen wie eine individuelle Beratung sowie professionelle Unterstützung bei Reparatur- und Wartungsarbeiten an Ihren Prozesspumpen. Dabei steht Ihnen unser geschultes Fachpersonal auch dann zur Verfügung, wenn Sie das betroffene Gerät nicht bei uns gekauft haben. Ob Pumpen für die Halbleiterindustrie oder andere Varianten – sprechen Sie uns an! Im gemeinsamen Gespräch erörtern wir, welche Lösung für Ihren spezifischen Fall die geeignetste ist. Wir freuen uns auf Ihre Kontaktaufnahme!

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